真空崩壊法

テストは、チャンバーとテスト システムを所定の期間真空にすることから始まります。達成すべき真空レベルは、パッケージの種類、サイズ、内容などの要素に基づいて決まります。必要な真空レベルに達すると、真空源はシステムから分離されます。

短時間の平衡期間の後、チャンバー内の圧力が上昇していないか監視します。この圧力上昇は真空低下と呼ばれ、漏れの可能性があることを示します。事前に設定された制限を超える大幅な圧力上昇は、パッケージが漏れていることを示します。このテストでは、このプロセス全体を通じて正確な測定を行うために圧力トランスデューサーを使用します。